當鉑絲加熱到800～900℃時會產(chǎn)生正離子發(fā)射，在鹵素氣氛中這種正離子發(fā)射將急劇增加，這就是“鹵素效應”。利用此效應制成的凍干機檢漏儀稱為凍干機鹵素檢漏儀。

    凍干機鹵素檢漏儀由鹵素檢漏傳感器和測量電路兩部分組成。檢漏傳感器是一個二極管，管內(nèi)的內(nèi)筒、外筒及加熱絲均由鉑制成。內(nèi)筒被熱絲加熱后發(fā)射正離子，外筒收集正離子，離子流的大小經(jīng)放大后由微安計（μA）指示。同時輔以音響及紅色燈光作為泄露報警。加熱電源可用直流或交流。

    根據(jù)使用條件，凍干機鹵素檢漏儀可按真空法或加壓法來進行工作。前者，先將傳感器與被檢測的凍干機真空系統(tǒng)相連接，并將凍干機的系統(tǒng)抽真空使壓力達到10～10-1Pa，再用示漏的鹵素氣體噴在凍干機有漏孔的可疑處，一旦有漏孔，示漏氣體就會侵入漏孔進入傳感器中。后者是先向被檢測的凍干機真空系統(tǒng)內(nèi)充入高于一個大氣壓的示漏鹵素氣體，然后用傳感器的探頭在被檢測系統(tǒng)的外面對可疑處進行探測，一旦檢測到示漏氣體逸出部位，即為有漏孔的部位。

    傳感器的探頭通常做成吸槍形，即在傳感器前裝一條吸管，在傳感器后面裝吸氣風扇，以提高檢漏效果。示漏氣體可采用四氯化碳、三氯乙烯或氟利昂等鹵素氣體。其中以氟利昂12（R12）效果更好。